原理
  等離子體是指一種全部或部分被電離的氣體，氣態物質在熱、電等能量的作用下產生不同程度的分子及電子的分離，形成帶負電荷的電子和帶正電荷的離子等這種包含原子、分子、電子、離子、光子、各種亞穩態和激發態粒子的混合氣體即為等離子體。等離子體是物質繼固、液、氣三態后的又一種聚集態--第四態，它是由極具反應活性的電子、離子、自由基、激發態的原子、分子等活性粒子組成的聚合體。
  當廢氣經過等離子發生器時，在高壓脈沖電場中，通過前后沿陡峭、脈寬極窄（ns）的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體，即產生大量高能電子（約5eV）和具有極強氧化性能的自由基（·OH、·HO2、·O ）、以及子氧化性極強O3 等高能活性粒子，與廢氣中有機物分子進行非彈性碰撞，使有機物分子化學鍵斷裂，發生一系列復雜氧化、降解化學反應，最終使廢氣中有毒有害有機物轉變為無害的二氧化碳和水等，使廢氣得到凈化。
 
特點
1.處理效果好，幾乎可以和所有惡臭分子作用。
2.運行成本低，比常用的RTO節約5-8倍運行費用
3.運行穩定，采用陶瓷、石英、不銹鋼等防腐材料，電極與廢氣不直接接觸，解決了設備防腐問題。
4.操作簡便，自動化程度高，設備啟動停止迅速，隨用隨開，節約能源。
5.無二次污染，通過電解分解污染物真正消滅有害污染物。